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        水汽捕集泵原理

        發布日期:2019-05-25 內容來源于:http://www.pizzajims.com/

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        水汽捕集泵原理

        應用原理: 在使用油擴散泵的高真空環境中都存在著一定的殘余氣體,80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸點的蒸汽,但其抽除殘余氣體的能力低,時間長,而且所有殘余氣體還是工件的污染源,從而使產品的產量和質量受到影響。深冷泵則是解決這類問題的上佳選擇。  深冷泵的工作原理:將一個能到-120℃以下的制冷盤管,放置在真空室中或油擴散泵的泵口,通過其表面的低溫冷凝效應,迅速捕集真空系統的殘余氣體。從而大大縮短抽真空的時間(可縮短60-90%的抽氣時間)、獲得潔凈的真空環境(真空度可提高半個數量級,達到10-8 Torr、10-5 Pa)。 

        水汽捕集泵

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